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超高真空磁控溅射系统
高速脉冲发生器 PSPL10300B
JCP-200B型高真空磁控溅射仪
金相显微镜（MV3000TRF）
紫外光刻机
小型金刚石线切割机（STX202）
全自动氦质谱检漏系统（SFJ-261）
引线键合机（West Bond 7476D）
低温测试系统（Labcool-4）
精密阻抗分析仪（Agilent 4294A）
磁电测试系统（Super ME-I）
综合物性测量系统（PPMS-9T）
