电子束曝光系统

仪器编号：202395040S

运行状态：正常

功率：2000 W

能源单价：1.13 元 / 小时

测试单价：200.00 元 / 小时

已测试数：139 次

联系人电话：18615602330

电子束曝光是指使用电子束在表面上制造图样的工艺，该技术利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构，然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底上。电子束曝光可以实现各种精确、任意图案的微纳结构的构筑，尤其可以用于实现半导体纳米材料霍尔器件电极的构筑，场效应晶体管器件电极的构筑，复杂集成电路电极的构筑，光伏器件电极的构筑，光电探测器电极的构筑等。